Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Хиты:

Медицинская литература: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях - 2018г.

Авторы: Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. ; Под ред. С.П. Тимошенкова - АБВ-пресс (2018)

Артикул: NF0018495

ISBN: 978-5-9963-0032-7

Издатель: АБВ-пресс

Авторы: Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. ; Под ред. С.П. Тимошенкова

Год: 2018

К-во стр.: 283

Переплет: твердый

Цена: 270 руб.

ГДЕ КУПИТЬ?
В издательстве ГЭОТАР MedKnigaServis.ru		ЗАКАЗАТЬ
На сайте BookMos.ru - есть скидки!		ЗАКАЗАТЬ

Оплата и доставка

Заказанный товар на сумму менее 1200 рублей отправляется ТОЛЬКО(!!!) по предоплате или его можно самостоятельно забрать в магазинах по указанным адресам. Данный товар Вы можете заказать, как на нашем сайте, так и на сайте издательства.

При заказе на общую сумму свыше 10000 руб. (с учётом всех скидок) - БЕСПЛАТНАЯ доставка!!!

Описание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

ISBN: 978-5-9963-0032-7

Артикул: NF0018495

Издатель: АБВ-пресс

Авторы: Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. ; Под ред. С.П. Тимошенкова

Год: 2018

К-во страниц: 283

Переплет: твердый

Похожие товары